Opis proizvoda

Vakuumski servo motori i vakuumski korakni motori su precizni uređaji za upravljanje pokretima, razvijeni posebno za ekstremne radne uslove kao što su ultravakuum, ultračistoća, visoke i niske temperature te kombinovana izloženost zračenju. Zahvaljujući specijalnim materijalima, neisparljivom mazivu, procesu smanjenja oslobađanja gasova na minimum i konstrukciji prilagođenoj širokom temperaturnom opsegu, ovi proizvodi mogu da obezbede preciznu kontrolu pozicije, brzine i momenta unutar vakuumskih komora. Na taj način se u potpunosti rešavaju fatalni problemi običnih industrijskih motora, poput onečišćenja vakuma isparavanjem, neefikasnog raspršivanja toplote, zastajanja zbog isparavanja maziva, električnog probijanja i narušavanja čistoće komore. Ovi motori se široko primjenjuju u visokotehnološkoj preciznoj proizvodnji, opremi za poluprovodnike, optičkom nanosanju premaza, vazduhoplovstvu i svemirskoj industriji, kao i u oblastima odbrane i visokopozicioniranih naučnih istraživanja, te predstavljaju ključne pogonske komponente za vakuumsku preciznu automatizaciju.

Ključne funkcije

1. Precizna kontrola pokreta u ekstremnim okolnostima: U vakuumskim, ultračistim, visoko- i niskotemperaturnim, kao i u uvjetima kombinovanog zračenja, kontinuirano obezbeđuje preciznu kontrolu pozicije, brzine i obrota bez odstupanja ili vibracija.
2. Ultra-nisko oslobađanje gasova i ultračista radna sredina: Poseban sistem materijala, rigorozna kontrola isparljivih supstanci, neonečišćenje vakumske komore i održavanje visokog stepena čistoće procesne sredine.
3. Poseban sistem duge životne dobi za mazanje u vakuumu: Vakuumski mazivo sa minimalnim isparavanjem, koje sprečava isparavanje, sušenje i propadanje maziva u vakuumu, omogućavajući izuzetno dug period bez održavanja.
4. Izvanredna adaptabilnost na ekstremne temperature: Prilagođen je širokom temperaturnom opsegu, od ekstremno niskih do visokih temperatura; materijali ostaju stabilni i ne deformišu se, ne propadaju ni ne zastaju zbog promjene temperature.
5. Struktura otporna na zračenje i starenje: Otporan je na zračenje u istraživačkim i svemirskim uslovima; električne i mehaničke karakteristike ne slablje, što ga čini prikladnim za duboku svemirsku i eksperimente s visokom energijom.
6. Vakuumski dizajn izolacije i raspršivanja toplote: Rješava problem nedostatka konvekcije za raspršivanje toplote u vakuumu, sprečava probijanje na visokim temperaturama, sagorijevanje namotaja i druge električne kvarove.

Ciljna grupa

Ovim proizvodima ciljaju se visokopozicionirani B2B kupci koji zahtijevaju preciznu automatizaciju pokreta u ekstremnim okolnostima kao što su vakuum, ultračistoća, zračenje i visoke/niske temperature:

Proizvođači opreme za poluprovodnike, proizvođači opreme za optičko nanosanje premaza i vakumske procesne opreme

Razvojne jedinice za specijalnu opremu u vazduhoplovstvu i odbrani

Naučne institucije za fiziku visokih energija i dobavljači vakuumskih eksperimentalnih uređaja za laboratorije

Proizvođači visokopreciznih instrumenata, elektronskih mikroskopa, epitaksijalnih uređaja i vakuumskih robota

Rješenje ključnih problema industrije

1. Onečišćenje komore isparavanjem u vakuumu: Obični motori u vakuumskim uslovima intenzivno isparavaju organske supstance, stvaraju čestice i kondenzirane isparljive materije, što narušava ultračistu vakuumsku sredinu i dovodi do odbacivanja gotovih proizvoda kao što su waferi i premazi.

2. Spaljivanje zbog lošeg raspršivanja toplote u vakuumu: U vakuumu nema konvekcije vazduha, pa obični motori ne mogu da rasprše toplotu; dugotrajna upotreba može uzrokovati demagnetizaciju, probijanje izolacije i sagorijevanje namotaja.

3. Brzo propadanje maziva i zastajanje: Obično mazivo u vakuumskim uslovima brzo isparava, suši se i propada, što dovodi do zastajanja ležajeva i kvara mehaničkih sistema.

4. Propadanje performansi u ekstremnom temperaturnom opsegu: U uvjetima promjene visokih i niskih temperatura, obični motori deformišu se, gube moment obrota i propadaju, što onemogućava stabilnu preciznu kontrolu.

5. Starenje i propadanje u okolnostima izloženosti zračenju: Obični motori nisu otporni na zračenje; u dugotrajnim visokoenergetskim uslovima njihova električna struktura brzo stari, što dovodi do kvara opreme i neuspjeha misije.

6. Teškoće u dobijanju vakuumskog certifikata za cijelu mašinu: Obični motori nemaju parametre za vakuum i certifikate čistoće, što rezultira time da kompletna oprema kupca ne može da prođe reviziju po standardima ultračisteće sredine i svemirske čistoće.

Kvantificirana korist za kupce

Prva: Znatno povećanje stope uspjeha procesa i kapaciteta opreme (ključna korist za poluprovodnike i opremu za optiku)

1. Povećanje stope uspjeha proizvodnje wafera i substrata za 1%-5%

Ovaj vakuumski motor ima izuzetno nisku stopu stvaranja čestica; broj čestica u komori strogo je ograničen na manje od 1×10⁵ čestica/m² (veličina veća od 0,1 μm), a amplituda vibracija je manja od 0,01g. Ova karakteristika ultra-niske vibracije i ultra-niske stope čestica značajno smanjuje broj defektnih tačaka tokom vakuumskog nanošenja premaza i graviranja, efikasno sprječavajući onečišćenja i kvarove. Za fabriku wafera od 12 inča koja proizvodi 40.000 wafera mjesečno, svaki porast stope uspjeha od 1% može dodatno povećati godišnji neto profit za nekoliko miliona do desetine miliona juana, što predstavlja najveću korist od modernizacije opreme.

2. Povećanje ukupne produktivnosti opreme za 10%-30%

Vakuumski servo motor ima visoku gustinu obrota i izuzetno brzu dinamičku reakciju; vreme ubrzanja opreme je kraće od 10 ms. Vakuumski robot koji koristi ovaj motor može skratiti vreme za uzimanje i postavljanje wafera sa 2,5 sekunde na 1,8 sekundi, što značajno povećava broj substrata koje pojedinačna oprema može obraditi u jedinici vremena. To pomaže proizvođačima opreme da poboljšaju performanse pojedinačne mašine i povećaju cijenu proizvoda, ali i pomaže krajnjim fabrikama wafera i premaza da prošire proizvodnju i povećaju efikasnost, što doprinosi boljoj iskorištenosti ukupnog kapaciteta.

Druga: Znatno smanjenje ukupnih troškova vlasništva tokom celog životnog ciklusa

1. Povećanje MTBF-a opreme za 3-6 puta, smanjenje nesigurnih prestanka rada za 70%

Obični motori u vakuumskim uslovima imaju prosečni interval između kvarova od samo 5.000 sati, što ih čini sklona spaljivanju i zastajanju zbog onečišćenja maziva i lošeg raspršivanja toplote. Ovaj vakuumski motor koristi specijalno mazivo sa minimalnim isparavanjem i izolacione žice otporne na visoke temperature, što u potpunosti eliminira uobičajene uzroke kvara; MTBF mu se produžava na 15.000–30.000 sati. Ako se jedna vakuumsko-pogonska linija mora otvoriti radi servisa, troškovi popravke, gubitak proizvodnje, oštećenje okoline i troškovi ručnog podešavanja mogu dostići 50.000–200.000 juana; duži period bez kvara direktno smanjuje takve česte i skupe gubitke.

2. Dizajn bez održavanja – smanjenje TCO-a za 40%-60% tokom celog životnog ciklusa

Obični motori u vakuumskim uslovima moraju svakih 3-6 meseci da se otvore kako bi se zamijenilo mazivo; ovaj proces je složen, dugotrajan i skup. Ovaj vakuumski motor podržava više od 50.000 ciklusa vakuma i više od pet godina bez održavanja, što eliminiše potrebu za čestim otvaranjem, vakumisanjem i podešavanjem opreme. Za naučne centre i fabrike koje koriste stotine vakuumskih uređaja, to može godišnje uštedeti desetine do stotine miliona juana na troškovima održavanja.

Treća: Skraćivanje perioda istraživanja i ubrzavanje puštanja opreme na tržište

1. Skraćivanje perioda dobijanja vakuumskog certifikata za opremu za 50%

Ovaj proizvod dolazi sa kompletnom analizom spektra i izvještajem o čistoći; stopa oslobađanja gasova je manja od 1,3×10⁻⁵ Pa·m³/s, što u potpunosti zadovoljava standarde za ultračistu opremu. Proizvođači opreme više ne moraju samostalno ulagati mnogo vremena u provjeru kompatibilnosti motora sa vakuumom; period testiranja novih proizvoda može se skratiti sa šest meseci na samo jedan, što znatno ubrzava razvoj, certifikaciju i puštanje novih proizvoda na tržište, omogućavajući preuzimanje tržišne prednosti.

2. Podrška za postizanje ultračisteće sredine od 10⁻⁷ Pa

Proizvod se striktno pridržava NASA-inih standarda čistoće u vakuumu; ukupna masa gubitaka (TML) je manja od 1%, a kondenzirane isparljive materije (CVCM) manje od 0,1%; jasno su označeni parametri maksimalne čistoće. To omogućava elektronskim mikroskopima, uređajima za molekularnu epitaksiju i visokopozicioniranim vakuumskim istraživačkim uređajima da postignu ultračiste indikatore, pomažući proizvođačima opreme da poboljšaju preciznost i kvalitet svojih proizvoda, što dovodi do više prodaje i većeg priznanja u industriji.

Četvrta: Osiguranje uspjeha svemirskih misija i sprječavanje katastrofalnih gubitaka

Proizvod poseduje izvanrednu otpornost na zračenje i širok temperaturni opseg; može da podnese ukupnu ionizaciju od preko 100 krad, a radni temperaturni opseg obuhvata od -196℃ do +200℃. Na taj način se u potpunosti rješavaju problemi zastajanja, električnih kvarova i propadanja performansi motora u ekstremnim uslovima dubokog svemira, satelita i avioindustrije. Efikasno se sprječava rizik od odbacivanja misije zbog kvara jednog motora u skupim opremama vrijednim stotine miliona do milijardu dolara, što značajno povećava šanse za uspjeh nacionalnih svemirskih misija.

Primjena

1. Precizna oprema za poluprovodnike: Vakuumski roboti za wafer, oprema za nanošenje premaza, uređaji za graviranje, precizni pogonski mehanizmi za transport u vakuumu
2. Oprema za optiku i vakumske procese: Vakuumski stroj za nanošenje premaza, uređaji za obradu optičkih substrata, pogonski sistemi za komore za ultračiste procese
3. Visokopozicionirani naučni instrumenti: Elektronski mikroskopi, uređaji za molekularnu epitaksiju, vakuumski mehanizmi za eksperimente iz fizike visokih energija
4. Vazduhoplovstvo i odbrana: Mehanizmi za pokrete satelitskih tereta, uređaji za duboku svemirsku istraživanje, specijalni motori za rad u uslovima vakumske izloženosti zračenju
5. Ultrachista precizna proizvodnja: Automatizovana oprema za vakum u ultračistim radionicama, precizni pogonski mehanizmi za ekstremne temperature

Česta pitanja – FAQ

P1: Koja je glavna razlika između vakuumskog motora i običnog motora?

A: Obični motori u vakuumskim uslovima intenzivno isparavaju, mazivo brzo isparava, loše raspršuju toploto i lako se spaljuju i zastaju, onečišćujući procesnu sredinu; vakuumski servo/korakni motori koriste specijalne materijale i procese bez isparavanja, sa ultra-niskim oslobađanjem gasova, dugim vijekom mazanja i čistim radom sa malim vibracijama, prilagođeni su scenarijima ultračisteće precizne opreme.

P2: Može li vakuumski motor da se prilagodi ultračistoj opremi i procesima?

A: Potpuno je prilagodljiv; proizvod ima TML manji od 1%, CVCM manji od 0,1%, stopa oslobađanja gasova zadovoljava standarde ultračisteće opreme, ne stvara čestice ni onečišćenja isparavanjem, pa se može koristiti u opremi za ultračistu sredinu od 10⁻⁷ Pa.

P3: Kolika je prednost održavanja vakuumskog motora u odnosu na obični motor?

A: Obični motori treba da se otvore svakih 3-6 meseci radi održavanja, dok ovaj vakuumski motor može da funkcioniše 5 godina bez održavanja, sa 50.000 ciklusa vakuma i stabilnim radom, što značajno smanjuje troškove održavanja i gubitke od prestanka rada.

P4: Da li se može koristiti u svemirskim uslovima izloženosti zračenju i ekstremno niskim temperaturama?

A: Podržava rad od ekstremno niskih -196℃ do visokih +200℃, otporan je na ionizaciju do 100 krad i potpuno je prilagodljiv ekstremnim uslovima dubokog svemira, satelita i drugih svemirskih misija.

P5: Da li može pomoći cijeloj opremi da prođe vakuumski certifikat čistoće?

A: Može da pruži kompletnu analizu spektra, izvještaj o stopi oslobađanja gasova i izvještaj o čistoći, što pomaže proizvođačima opreme da skrate period certifikacije i brzo postignu standarde za izvoz visokopozicionirane opreme.

Možda vam se svidi

Вакуумски серво/корак мотор

Мотор за високе и ниске температуре